在每种旋片真空泵中,又有单级和双级之分。在单级泵中,由于选用的构造方式和参数不同,泵的极限压力和用处也不同。它们的共同特点是构造较复杂,运用方便,能从大气压力下起动,可间接排入大气,公平质量较小,维护简便,双级泵的极限压力为6*10-2~1*10-2Pa,一种单级泵可达4Pa左右,另一种单级泵为50~200Pa左右。
双级旋片真空泵的运用:
运用前,首先细心阅读产品说明书,开箱后应检查装运质量,收好备品备件和技术文件,撤除排气口防护件。按要求装置,接线,试转向,水冷泵接水。
为避免因返油与反转而喷油,应先开启泵口,按规则转向把泵内存油用手盘到油箱中同时检查油位,应在油标中心以上,但不要满油标,多了要放出。判别转向的辅佐办法。把护套倒放在泵口上,如开泵后被吸住,是正向,被吹落,是反向。声响正常是正向,声响异常响是反向。
由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对泵有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。